真空科學與技術學報雜志論文格式要求：
①一級標題用“一、二、……” 來標識，二級標題用“（一）、（二）、……”來標識，三級標題用“1.2.”來標識，四級標題用“（1）、（2）”來標識。
②參考文獻要求所有稿件必須有參考文獻，應以作者親自閱讀的近5年公開發表的文獻為準，論著的參考文獻一般10～15條，綜述20～30條。文中參考文獻的注碼用方括號準確地標在有關文字的右上角。
③摘要：論著類文章應附300字左右摘要，英文摘要必須與中文標題與摘要內容相對應。
④包括真實姓名、性別、出生年、職務職稱、學位、研究方向、聯系電話、E-mail、郵編等。
⑤本刊可對來稿作文字修改、刪節，來稿經本刊采用，其專有使用權歸本刊所有;如發現抄襲、冒名等違反著作權法相關規定的，除作者文責自負外，本刊保留以法律途徑追究相關作者責任的權利。
真空科學與技術學報雜志往年文章平均引文率
真空科學與技術學報雜志往年文章摘錄
微波高功率對生長金剛石膜影響的研究
電子束蒸鍍金膜表面黑色顆粒形成的機理研究
4-硝基-4-二甲基氨基偶氮苯薄膜的制備及光學性質
具有七個焦點的碳納米管陰極分布式X射線源
納米溝道真空場發射三極管的制備及其特性研究
大氣壓寬徑向空氣等離子體射流裝置的設計、實驗和仿真研究
高氣壓直流輝光CH4/H2等離子體放電過程中的占空比效應
真空鋁熱還原一步法制取鎂鈣合金的實驗研究
真空電弧熔煉制備U3Si2塊體及其雜質狀態研究
金剛石MEMS三維諧振器的設計與加工
